Bild 01: Für Applikationen in warmen Umgebungen oder Messaufgaben im µm-Bereich liefern die CX.XC-Kameras von Baumer dank integriertem Kühlkanal hochpräzise Bilder. (Quelle: Baumer)
Für Inspektionsaufgaben zum Beispiel in Glasöfen oder an Silizium-Wafern benötigen die zum Einsatz kommenden Kameras jeweils eine aktive Kühlung. So müssen sie in der Nähe von Industrieöfen vor der Hitze geschützt werden, und beim Wafer-Bonding ist thermische Stabilität Voraussetzung für die benötigten hochpräzisen Aufnahmen.
Bislang war es üblich, in warmen Umgebungen oder für konstante Kameratemperaturen externe Kühlkomponenten um das Kameragehäuse herum zu konstruieren. Das ist aufwendig, kostet Zeit und vergrößert die Bauform der Kamera. Abhilfe bietet Baumer [1] mit Kameras aus seiner CX-Serie, die um Modelle mit integrierter Kühlung erweitert wurde (Bild 1). Bei den CX.XC-Kameras schlängelt sich der patentierte Kühlkanal platzsparend durch das Kameragehäuse und garantiert thermische Stabilität schon nach kurzer Zeit (Bild 2).
Halbleiterfertigung benötigt hochpräzise Messwerte
In der Halbleiterfertigung ist die thermische Stabilität der Kameras von großer Wichtigkeit. So muss die Inspektion beispielsweise beim Wafer-Bonding sicherstellen, dass die Passmarken der einzelnen Wafer exakt übereinander liegen. Das lässt sich nur mit hochpräziser Bilderfassung erreichen, da die Messtoleranzen im Nanometer-Bereich liegen. Für diese genauen Daten ist thermische Stabilität der relevanten Kamerabauteile während der Messzykluszeit erforderlich. Der integrierte Kühlkanal von Baumer bringt hier zwei entscheidende Vorteile: Er sorgt für die benötigte thermische Stabilität und kühlt innerhalb weniger Minuten auf konstante Werte herunter (Bild 3), und damit deutlich schneller als die bislang üblichen externen Vorrichtungen. Für Anwender bedeutet das Zeitersparnis, weil die Baumer-Aktivkühlung das Warten bis zur Messdatenerfassung verkürzt.