Die Aufrüstung des GSM-V mit dem Panel-PC CP6606 und Ethercat-Steckmodulen der EJ-Serie resultierte aus der engen Zusammenarbeit zwischen David Stetz(rechts),Chefingenieur für Forschung und Entwicklung Steuerungstechnik bei Applied Energ ySystems, und Tim Beckel (links),regionaler Vertriebsingenieur bei Beckhoff USA. (Quelle: Beckhoff Automation)
„Ultrahochreine Industriegase sind für die Elektronikfertigung und für Forschungsprojekte unerlässlich. Da diese häufig leicht brennbar oder giftig sind, können sie bei unsachgemäßer Hand- habung unter Umständen sogar tödlich wirken. Dies erschwert den Entwicklungsprozess entsprechender Systeme“, erläutert David Stetz, Chefingenieur für Forschung und Entwicklung der Steuerungstechnik bei AES. So haben Sicherheitsaspekte oberste Priorität, zusätzlich müssen Halbleiterhersteller aber beispielsweise auch einen hohen Bauteildurchsatz bei gleichzeitig maxi- malen Qualitätsansprüchen und Genauigkeiten im Bereich von ≤0,5 μm sicherstellen.
Die Entwicklung entsprechend sicherer, zuverlässiger und leistungsfähiger Systeme ist das Ziel von AES, seit das Unter- nehmen Mitte der 1980er-Jahre mit der Herstellung solcher Gasversorgungssysteme begonnen hat. Dabei umfasst der Anwendungsbereich für hochreine Gase die allgemeine Fertigungsindustrie, Forschungslabors, Solar-, Pharmazie- und Biotechnologieprodukte, wohingegen ultrahochreine Gase bei Herstellern von Luft- und Raumfahrtkomponenten, Halbleitern und anderer Elektronik zum Einsatz kommen. „Gerade in diesem Hightech-Umfeld ist es von großer Bedeutung, neue Produkte zu konzipieren und bestehende Anlagen zu modernisieren“, so AES-Geschäftsführer Jim Murphy. „Wir konzentrieren uns intensiv auf Forschung und Entwicklung sowie auf die Erweiterung unserer Produktionsbetriebe, um beispielsweise die derzeit geforderten Industrie-4.0-Lösungen und Internet-of- Things-(IoT-)Technologien zu unterstützen.“ Eine der aktuellen Schlüsselinnovationen im Bereich der ultrahochreinen Gase sei der Regler GigaGuard GSM-V. Dieser überwacht und reguliert die Zuführung von ultrahochreinen Gasen und wurde speziell entwickelt, um das bewährte, aber nicht Industrie-4.0-taugliche Vorgängermodell GSM-5 zu ersetzen.